日本ulvac dis-90渦旋干式真空泵一、特性
•雙繞式渦旋泵，含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大氣壓下實現操作運行。
•可實現高極限真空。
•低振動低噪音。
•維護周期可通過計時表控制。
日本ulvac dis-90渦旋干式真空泵二、應用
•分析設備
•氣體回收系統(tǒng)
•涂料設備•tmp前級泵
•氦滲漏探測器
•半導體制造工藝
日本ulvac dis-90渦旋干式真空泵三、規(guī)格參數
單位
50hz
60hz
實際抽速
l/min
90
108
極限壓力
pa
5.0
馬達
單相,100/115/200/230v,
150w,4p,電容啟動運行
滿載電流
a
2.6/1.3/1.6
(100/200/230v)
2.1/2.2/1.1/1.1
(100/115/200/230v)
重量
kg
14.0
進出氣管道直徑
進氣管kf-25 出氣管kf-16
環(huán)境溫度
°c
5–40
水蒸氣處理
g/天
≤5(a.f.開啟)
尺寸
mm
214(w)×308(l)×225(h)
四、外形圖
五、泵數曲線
六、對應電壓與認證
電壓
現行電壓
ce認證
csa認證
單相,
100v/115v(60hz)/200-230v
標準
關鍵詞：干式真空泵 真空泵