利用不聚合ar,n2,h2,o2等，plasma進(jìn)行表面反應(yīng)，并參與表面反應(yīng)的激發(fā)態(tài)分子、羥基自由基、電子陰陽(yáng)離子、等離子體產(chǎn)生的紫外線輻射。通過(guò)plasma表面反應(yīng)，外表可能會(huì)引入特定的官能團(tuán)，導(dǎo)致外表腐蝕，生成聚酰亞胺結(jié)構(gòu)層或外表羥基自由基。其次，薄膜沉積在外表，主要采用聚合有機(jī)單體聚合法在材料外表覆蓋聚合膜。pcvd法和塑料外表的金屬化處理等濺射膜也可以采用。plasma對(duì)聚合物外表的功能有很多理論解釋，如外表分子鏈降解理論、氧化理論、氫鍵理論、聚酰亞胺理論、臭氧化理論和外表介電理論，但聚合物表面反應(yīng)機(jī)理可以概括為三個(gè)步驟:
(1)自由電子在高壓電場(chǎng)中被加速并獲得更高的動(dòng)能，并與其他分子發(fā)生碰撞。撞擊分子獲得部分能量，并被激活而具有活力；
(2)激發(fā)態(tài)的分子是不穩(wěn)定的，并分解成羥基自由基或電離陰陽(yáng)離子；
(3)羥基自由基或陰陽(yáng)離子在脂溶性外表效果時(shí)，生成鈣化的聚酰亞胺層；plasma與存在的氣體或單體發(fā)生聚合，使聚合物外表沉積成具有可設(shè)計(jì)的涂層；plasma與外表羥基自由基或陰陽(yáng)離子發(fā)生反應(yīng)，生成改性層。等離子體對(duì)材料外表的影響大致有四種:去除外表雜質(zhì)；外表腐蝕；外表聚酰亞胺生成具有新化學(xué)結(jié)構(gòu)的外表。有助于提高粘結(jié)性碳纖維外表含有極性功能團(tuán)的氧氣，plasma處理后改變碳纖維的吸濕度，提高吸附能力。修飾薄膜外表，改善薄膜表面粗糙度和外表性能，plasma處理后各性能。