氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備方法
氦質(zhì)譜檢漏儀(heliummassspectrometerleakdetector)是氣體工業(yè)術(shù)語(yǔ)，用氦或氫來表示泄漏氣體，用氣體分析儀來檢測(cè)氦來檢測(cè)泄漏。氦的底部噪聲低，分子量和粘度系數(shù)小，容易通過泄漏孔擴(kuò)散；此外，氦是惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，因此常用氦來表示泄漏氣體。將這種氣體噴射到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上。如果容器有泄漏孔，分析儀會(huì)反應(yīng)，從而知道泄漏孔的位置和泄漏量。
氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)技術(shù)是真空泄漏檢測(cè)領(lǐng)域的技術(shù)。由于泄漏檢測(cè)效率高、操作簡(jiǎn)單、儀器反應(yīng)靈敏、精度高、不易受到其他氣體的干擾，廣泛應(yīng)用于電阻爐泄漏檢測(cè)。氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)儀是一種氣密性檢測(cè)儀，由氦氣作為泄漏氣體制成。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室、抽氣系統(tǒng)和電氣部件組成。質(zhì)譜室內(nèi)燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來回振動(dòng)，與室內(nèi)氣體和泄漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞，使其電離成為正離子。這些氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)儀在電阻爐泄漏檢測(cè)中較常用檢漏方法。
噴氦法檢漏示在檢測(cè)較大部件時(shí)要借助機(jī)械泵進(jìn)行真空預(yù)抽,就可以提高檢漏效率和時(shí)間,如圖5 所示,噴氦法在檢查那些結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜的,密封口和焊縫又比較多而且擠在一起的小容器時(shí),由于氦噴出后會(huì)很快擴(kuò)散開來,往往不容易準(zhǔn)確地確定漏隙所在的部位,要采取從不同角度噴氦,仔細(xì)觀察反應(yīng)時(shí)間上的差別和將已發(fā)現(xiàn)的漏孔用真空封泥暫時(shí)封起來等辦法,就可以把漏孔逐個(gè)檢出。