據中國航天科技集團官微，中國航天科技集團有限公司九院704所完成了萬分級高精度mems諧振式壓力傳感器研制。
中國航天科技集團有限公司九院704所完成了萬分級高精度mems諧振式壓力傳感器研制，為新一代裝備和先進工業(yè)領域實現自主可控和升級換代提供核心關鍵產品。萬分級高精度mems諧振式壓力傳感器主要技術指標比傳統(tǒng)應變式、壓阻式、電容式等原理的壓力傳感器高1~2個數量級，且具有數字化輸出、抗干擾、長壽命和抗輻照等優(yōu)點，技術指標、穩(wěn)定性、可靠性和環(huán)境適應性均達到先進水平。
目前，該產品已應用于航天發(fā)動機壓力監(jiān)測、航空大氣數據系統(tǒng)等領域。后續(xù)，704所將基于核心mems敏感芯片和傳感器技術，進一步開發(fā)儀器和感知測量系統(tǒng)，形成“芯片+傳感器+儀器+系統(tǒng)的信息感知模式，推進產品譜系化、規(guī)?；?、產業(yè)化發(fā)展