為1-3維直線掃描臺。臺體采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實現(xiàn)x、xy、xyz大370μm 的高速掃描，大通光孔徑為ø35mm，多種位移行程及規(guī)格型號可供選擇，適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。
特性：
•大位移370μm
•大承載3.5kg
•通孔直徑：ø35mm
1~3維掃描臺
p18壓電掃描臺包括x/xy/xyz三種結(jié)構(gòu)形式，可以 滿足1~3維大行程掃描或定位的應(yīng)用需求。
典型應(yīng)用
•閉環(huán)重復(fù)定位精度高 •響應(yīng)速度快
•圖像處理與穩(wěn)定 •掃描顯微
•干涉/計量 •表面檢測
•半導(dǎo)體測量 •光學(xué)計量
大位移、大承載、高剛度、高頻響