真空泵是一種廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化學(xué)、醫(yī)藥、食品和飲料等行業(yè)的設(shè)備。它的主要功能是產(chǎn)生并維持一個低壓環(huán)境，以便于氣體的抽取和處理。然而，像所有機(jī)械設(shè)備一樣，ulvac真空泵在使用過程中也可能會出現(xiàn)各種故障。在整個鋼液處置過程中，體系的真空度是跟著鋼液的放氣量的削減而不斷升高的。在鋼液處置前期，體系真空度低，放氣量大，需求前級泵的抽氣才能大，通常選用多個泵并聯(lián)的方式增大體系的抽氣量。而當(dāng)體系真空度不斷升高時，體系的放氣量也隨之削減，為了下降蒸汽耗量，節(jié)省能源，需封閉前級并聯(lián)泵中的若干只。
主要表現(xiàn)為真空泵加電后不能啟動運(yùn)轉(zhuǎn)。這時應(yīng)首先檢查真空泵的電路部分，如保險管是否燒毀、電路部分有沒有元?dú)饧龎?。在排除電路部分的故障后，?yīng)考慮主要為電機(jī)定子線圈燒毀，引起原因較多，如瞬間電流過大，電機(jī)軸承使用久了被磨損，致使軸承摩擦阻力變大，電機(jī)功率加大，引起溫度上升，燒毀電機(jī)。這時應(yīng)先檢查電機(jī)軸承，再檢查電機(jī)線圈。軸承損壞就更換軸承；電機(jī)線圈燒毀則應(yīng)維修電機(jī)，重新繞制定子線圈。軸承和線圈損壞嚴(yán)重時，就需更換電機(jī)了。